Обзор плазмы | Аксиальный или радиальный |
Система подачи пробы | Горелка: вертикально расположенная |
| Камера: циклонного типа |
| Слив пробы: перистальтическим насосом |
| Перистальтический насос: многоканальный |
Расход газа | Управляется компьютером |
| Эко-режим с пониженным расходом аргона |
| Чистота газа: не хуже 99,996% |
ВЧ-генератор | Частота: 27 МГц |
| Мощность: 700-1600 Вт (шаг 1 Вт) |
| ВЧ-блок: Твердотельный |
| Стабильность: 1% (за 4 часа) |
Спектрометр | Оптическая схема: Эшелле |
| Спектральный диапазон: 165-950 нм |
| Диспергирующие элементы: дифракционная решётка и призма |
| Спектральное разрешение:0,007 нм при 200нм |
CCD детектор | Термостатированная оптика 38 °С ± 0,1 °С |
| Охлаждаемый СCD |
| Количество пикселей: 1024 х 1024 |
| Размер пикселя: 24 мкм х 24 мкм |
| Охлаждение: элемент Пельтье, компьютерный контроль |